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CVD氣體擴散板

  • 可對應模式:新品/再生
  • 可適用世代:4.5G~10.5G
  • 同心軸:≤0.05mm
  • 薄膜工藝:草酸法
  • 膜厚:0.5~8μm
  • 粗糙度:1~5μm
  • 擴孔濾:≤0.015
  • 適用機臺:AKT/ULVAC 等
咨詢熱線:0553-5856596
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